Modi di funzionamento, Modalità vuoto, 3 modi di funzionamento – INFICON UL1000 Helium leak detector Manuale d'uso
Pagina 42: 1 modalità vuoto
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Descrizione e funzionamento
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(1
10
8)
4.3
Modi di funzionamento
4.3.1
Modalità vuoto
Come già citato (si veda capitolo
), occorre evacuare il provino affinché l'elio
spruzzato dall'esterno sul provino possa penetrare, grazie alla differenza di pres-
sione, se sono presenti perdite.
Premendo
si aprono le valvole V1a e V1b, e il provino viene
spompato dalla pompa per vuoto (UL1000) o dalla pompa scroll (UL1000 Fab).
Contemporaneamente, viene chiusa la valvola V2 per evitare un aumento di pres-
sione non ammesso nella turbopompa e nello spettrometro di massa.
Con valvola V2 chiusa, la turbopompa lavora senza supporto della pompa scroll.
Poiché lo spettrometro di massa è già evacuato, da quel punto non viene più
pompato ulteriore gas. La pressione p
2
rimane costante o sale lentamente.
Se, ad esempio, per una procedura di pompaggio molto lunga, la pressione P
2
dovesse ancora salire, con P
2
> 10 mbar viene interrotta l'evacuazione (V1a e V1b
chiuse) e V2 viene aperta brevemente per ripristinare un pre-vuoto idoneo
(P
2
< 1 mbar).
Nei diagrammi seguenti, viene rappresentato il flusso del gas durante l'evacuazione
e durante le modalità di esercizio GROSS, FINE e ULTRA.
Le condizioni per la procedura di evacuazione descritta vengono mantenute fino a
quando la pressione di ingresso p
1
è scesa sotto 15 mbar. Si apre la valvola V2.
L'elio possibilmente presente può fluire solo in direzione contraria nello spettrometro
di massa, dal quale viene rilevato.
Questa è la modalità di esercizio GROSS; la soglia di visualizzazione inferiore и
1Ч10
-6
mbar l/s.
Poiché la pompa scroll continua a evacuare il provino, la pressione di ingresso p
1
continua a scendere. Sotto i 2 mbar si passa in modalità UL1000 e UL1000 Fab
FINE, ciò significa che la valvola V4a si apre e la valvola V1b si chiude. Il flusso del
gas arriva nella turbopompa in un livello intermedio.
Fig. 4-6: sinistra: evacuazione (nessuna misurazione), destra: modalità GROSS
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V5
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V5